常見的真空泵種類有哪些?
發(fā)布時間：
2022-07-08
真空泵種類有很多，按工作原理可以分為：氣體輸送泵和氣體捕集泵；按真空度可以分為：粗真空度、高真空度和超高真空度。 按工作原理分： 一、氣體輸送泵： 1、變?nèi)菡婵毡? 1）往復(fù)式 2）旋片式： （1）油封式：旋片、滑閥式、定片式、余擺線式、多室旋片式； （2）干式螺桿； （3）液環(huán)式； （4）羅茨真空泵； 2、動量傳輸泵 1）分子真空泵：牽引分子泵、渦輪分子泵、復(fù)合分子泵； 2）噴射真空泵：液體噴射真空泵、氣體噴射真空泵、蒸汽噴射真空泵； 3）擴散泵：自凈化擴散泵、分餾式擴散泵； 4）擴散噴射泵； 5）離子輸運泵； 二、氣體捕集泵 1、吸附泵； 2、吸氣劑泵； 3、吸氣劑離子泵：蒸發(fā)離子泵、濺射離子泵； 4、低溫泵；
真空泵種類有很多，按工作原理可以分為：氣體輸送泵和氣體捕集泵；按真空度可以分為：粗真空度、高真空度和超高真空度。
按工作原理分：
一、氣體輸送泵：
1、變?nèi)菡婵毡?/p>
1）往復(fù)式
2）旋片式：
（1）油封式：旋片、滑閥式、定片式、余擺線式、多室旋片式；
（2）干式螺桿；
（3）液環(huán)式；
（4）羅茨真空泵；
2、動量傳輸泵
1）分子真空泵：牽引分子泵、渦輪分子泵、復(fù)合分子泵；
2）噴射真空泵：液體噴射真空泵、氣體噴射真空泵、蒸汽噴射真空泵；
3）擴散泵：自凈化擴散泵、分餾式擴散泵；
4）擴散噴射泵；
5）離子輸運泵；
二、氣體捕集泵
1、吸附泵；
2、吸氣劑泵；
3、吸氣劑離子泵：蒸發(fā)離子泵、濺射離子泵；
4、低溫泵；
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